為什麼要分等級?

電子級(Electronic Grade)乙醇 99.5 % 主要應用於半導體、面板、精密光學等「奈米」製程;工業酒精(Industrial Denatured Alcohol,以下簡稱 IDA)則鎖定一般脫脂、金屬清洗、油墨稀釋。兩者關鍵差異在於 純度、殘留、金屬離子 與 添加變性劑


1. 純度與水分含量

指標 電子級乙醇 99.5 % 工業酒精(常見 95 % 或 99 %)
乙醇含量 (v/v) ≥ 99.5 % 95 %–99 %(視配方)
水分 (Karl Fischer) ≤ 0.4 % 0.5 %–5 %
揮發殘留 (Residue After Evap.) ≤ 5 ppm 30–200 ppm

影響:奈米線寬若留有 ∼10 ppm 雜質,可導致光阻缺陷或金屬腐蝕;故電子級以「低水、高揮發性」為核心。


2. 金屬離子 & 微量雜質

離子 (μg/L) 電子級 99.5 % 工業酒精
Na⁺ / K⁺ < 50 100–500
Ca²⁺ / Mg²⁺ < 20 50–200
Cl⁻ / SO₄²⁻ < 50 200–800
總金屬 (ICP-MS) < 200 ppb 1–5 ppm

影響:金屬離子在蝕刻、CMP 後清洗若殘留,易形成「金屬點缺陷」。電子級原料使用多道離子交換 & 活性碳過濾確保低金屬。


3. 變性劑與氣味

  • 電子級:純天然醇,無變性劑,氣味單純。

  • IDA:通常添加 MEK、IPA、汽油組分 等變性,以避免飲用並適應稅制;殘留氣味重,且易在玻璃基板形成薄膜。


4. 電導率與靜電風險

電導率 (µS/cm, 25 ℃) 99.5 % E-Grade 工業級
初始值 0.8–1.2 3–10+
使用 24 h 後 < 2 > 15

導電度越低,ESD(靜電釋放) 風險越小。電子級控制離子含量,即使循環使用亦保持低電導。


5. 包裝、驗收與法規

面向 電子級乙醇 工業酒精
包裝 20 L 無金屬內襯 UN 桶 / 200 L 不鏽鋼桶 20 L HDPE / 200 L 鐵桶
供應鏈文件 CoA + ICP-MS 報告 + NVR 檢測 MSDS + 稅務變性證明
適用規範 SEMI C10 / ASTM D7709 一般化工標準
價格區間* 50–70 NT$/L 25–40 NT$/L

* 依批次、匯率及運輸條件略有浮動。


6. 選用建議

應用 推薦等級 理由
半導體濕製程終清洗 99.5 % 電子級 低金屬、低殘留、快揮發
面板偏光片貼合前除塵 99.5 % 電子級 不殘膠、不白霧
金屬刀具除油 工業酒精 成本低、揮發性適中
一般實驗室消毒 工業酒精 / 75 % 酒精 無需超高純度

常見 QA

Q1:可否用 99 % 工業酒精稀釋替代?
A:殘留變性劑與金屬離子超標,易導致線路腐蝕與顆粒缺陷,不建議。

Q2:電子級與醫療用 95 % 酒精差多少?
A:醫療酒精雜質控制較鬆,且含水量高;在無塵室烘乾後易留下水痕與微粒。

Q3:99.9 % 與 99.5 % 差異?
A:水分差異 0.4 %→0.1 %,對 < 65 nm 製程更安全,但成本高 25–30 %。可依設程決定。