12 6月

為什麼要分等級?
電子級(Electronic Grade)乙醇 99.5 % 主要應用於半導體、面板、精密光學等「奈米」製程;工業酒精(Industrial Denatured Alcohol,以下簡稱 IDA)則鎖定一般脫脂、金屬清洗、油墨稀釋。兩者關鍵差異在於 純度、殘留、金屬離子 與 添加變性劑。
1. 純度與水分含量
指標 | 電子級乙醇 99.5 % | 工業酒精(常見 95 % 或 99 %) |
---|---|---|
乙醇含量 (v/v) | ≥ 99.5 % | 95 %–99 %(視配方) |
水分 (Karl Fischer) | ≤ 0.4 % | 0.5 %–5 % |
揮發殘留 (Residue After Evap.) | ≤ 5 ppm | 30–200 ppm |
影響:奈米線寬若留有 ∼10 ppm 雜質,可導致光阻缺陷或金屬腐蝕;故電子級以「低水、高揮發性」為核心。
2. 金屬離子 & 微量雜質
離子 (μg/L) | 電子級 99.5 % | 工業酒精 |
---|---|---|
Na⁺ / K⁺ | < 50 | 100–500 |
Ca²⁺ / Mg²⁺ | < 20 | 50–200 |
Cl⁻ / SO₄²⁻ | < 50 | 200–800 |
總金屬 (ICP-MS) | < 200 ppb | 1–5 ppm |
影響:金屬離子在蝕刻、CMP 後清洗若殘留,易形成「金屬點缺陷」。電子級原料使用多道離子交換 & 活性碳過濾確保低金屬。
3. 變性劑與氣味
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電子級:純天然醇,無變性劑,氣味單純。
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IDA:通常添加 MEK、IPA、汽油組分 等變性,以避免飲用並適應稅制;殘留氣味重,且易在玻璃基板形成薄膜。
4. 電導率與靜電風險
電導率 (µS/cm, 25 ℃) | 99.5 % E-Grade | 工業級 |
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初始值 | 0.8–1.2 | 3–10+ |
使用 24 h 後 | < 2 | > 15 |
導電度越低,ESD(靜電釋放) 風險越小。電子級控制離子含量,即使循環使用亦保持低電導。
5. 包裝、驗收與法規
面向 | 電子級乙醇 | 工業酒精 |
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包裝 | 20 L 無金屬內襯 UN 桶 / 200 L 不鏽鋼桶 | 20 L HDPE / 200 L 鐵桶 |
供應鏈文件 | CoA + ICP-MS 報告 + NVR 檢測 | MSDS + 稅務變性證明 |
適用規範 | SEMI C10 / ASTM D7709 | 一般化工標準 |
價格區間* | 50–70 NT$/L | 25–40 NT$/L |
* 依批次、匯率及運輸條件略有浮動。
6. 選用建議
應用 | 推薦等級 | 理由 |
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半導體濕製程終清洗 | 99.5 % 電子級 | 低金屬、低殘留、快揮發 |
面板偏光片貼合前除塵 | 99.5 % 電子級 | 不殘膠、不白霧 |
金屬刀具除油 | 工業酒精 | 成本低、揮發性適中 |
一般實驗室消毒 | 工業酒精 / 75 % 酒精 | 無需超高純度 |
常見 QA
Q1:可否用 99 % 工業酒精稀釋替代?
A:殘留變性劑與金屬離子超標,易導致線路腐蝕與顆粒缺陷,不建議。
Q2:電子級與醫療用 95 % 酒精差多少?
A:醫療酒精雜質控制較鬆,且含水量高;在無塵室烘乾後易留下水痕與微粒。
Q3:99.9 % 與 99.5 % 差異?
A:水分差異 0.4 %→0.1 %,對 < 65 nm 製程更安全,但成本高 25–30 %。可依設程決定。